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詳細介紹
品牌 | Inficon/英福康 | 產地 | 進口 |
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加工定制 | 否 |
HPG400高壓強熱電離皮拉尼真空計
INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規管中,可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓(1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓)范圍內的壓力。HPG400 提供高可重復性和再現性壓力測量,實現精確控制鍍濺過程壓力。
HPG400 可節省成本和工具空間,降低真空系統的安裝與設置的復雜性
高壓熱電離可以準確可靠地測量 1 X 10-5 至 1 mbar 范圍內的壓力,進而改善過程控制
用戶可選的熱電離發射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之間啟動
皮拉尼聯鎖保護絲極,防止過早燒毀
備有可選的圖形顯示器和現場總線接口
高真空皮拉尼自動調節,減少操作員的干預
符合 RoHS 標準
半導體制造、電子工業和媒體工業中的濺鍍應用
工業鍍膜
低真空至高真空范圍內的一般真空測量和控制
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